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俄歇电子能谱 (AES)

俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy, AES)是一种用电子束为激发源的表面分析技术。 待分析区域的原子受激发后发射出具有元素特征的俄歇电子。通过检测俄歇电子的动能进行定性和半定量分析。AES有较高的空间分辨率，可用来表征材料表面和界面的元素组成，元素在材料表面和深度的分布。AES 还是分析材料表面微污染，微腐蚀，钝化层，纳米级镀层，微米级部件的理想手段。

技术参数

检测信息：来自样品表面的Auger电子

元素测定：Li-U

检测限：0.1% (原子百分比)

主要应用

·         缺陷（污染/腐蚀/划痕等）分析

·         微小颗粒分析

·         表面成分分析

·         元素深度分布分析

·         薄膜成分分析

相关行业应用

• 航空航天
• 生物医学
• 数据存储
• 国防
• 显示器
• 电子
• 半导体
• 电信

AES分析的优势

• 可进行点分析（30nm）
• 可进行半定量分析
• 好的表面灵敏度
• 良好的深度分辨率

AES分析的局限性

• 无标样做精确定量分析
• 绝缘体难分析
• 样品必须真空兼容
• 较低的检测灵敏度（原子百分比0.1%）